形成氧化锌膜的方法和设备以及制造光生伏打器件的方法和设备

摘要

电沉积方法，包括步骤：在电沉积液中输送衬底并在衬底上形成膜，从衬底表面除去颗粒。和电沉积设备，包括装电沉积液用的电沉积槽，衬底放置其上并输送连续长度衬底用的输送机；还包括从连续长度衬底表面除去颗粒用的装置。用所提供的方法和设备能防止由电沉积液中的粉尘或从电极脱落的膜构成的颗粒造成的麻烦，例如能防止在淀积了膜的衬底在输送过程中出现碰撞印记，能形成高质量的电沉积膜。

主权项

1.在电沉积液中形成氧化锌膜的方法，该电沉积液中设有连续长度衬底、相对电极和背面膜附着保护电极，在加电条件下通过输送装置输送连续长度衬底时在连续长度衬底上形成氧化锌膜，各部分之间的电位关系是，背面膜附着保护电极的电位＜连续长度衬底的电位＜相对电极的电位，该方法包括：在连续长度衬底通过它面对的背面膜附着保护电极的区域之后和连续长度衬底与它的输送装置接触之前，除去连续长度衬底表面上的颗粒。