通过分解有机硅烷生产二氧化硅的方法

摘要

一种生产高纯光学氧化硅预制棒的方法，该方法包括：a)气化有机硅化合物；b)热分解气态的所说有机硅化合物，从而形成无定型熔融氧化硅颗粒；c)将所说的无定型熔融氧化硅颗粒沉积在载体上；其中所说的有机硅化合物具有以下通式，其中，R₁，R₂、R₃和R₄具有在正文中给出的定义。∴

主权项

1.生产高纯光学氧化硅预制棒的方法，该方法包括：a)在高于有机硅化合物沸点的温度下气化所述有机硅化合物；b)热分解气态的所说有机硅化合物，从而形成无定型熔融氧化硅颗粒；c)将所说的无定型熔融氧化硅颗粒沉积在载体上；并且该方法特征在于：所说的有机硅化合物具有以下通式：其中，R₁，R₂和R₃各自独立地是氢，甲基，乙基，丙基，异丙基，或通式为-Si-(R₅R₆R₇)的基团，其中R₅，R₆和R₇各自独立地是甲基，乙基，丙基，异丙基，R₄是通式为-(CH₂)_m-Si-(R₅R₆R₇)-的基团，式中，R₅，R₆和R₇按如上定义，而m是1-3的整数。