| 发明名称 |
氧化锌气体感测装置 |
| 摘要 |
本发明涉及一种氧化锌气体感测装置，其特征包括：一绝缘基底；形成在绝缘基底表面的两电极；一覆盖绝缘基底和两电极的纳米级氧化锌膜；上述纳米级氧化锌膜为具有高密度排列的柱状或管状氧化锌纳米纤维。纳米级氧化锌膜能增加气体在氧化锌晶粒间的流通量，提高气体感测装置的灵敏度。 |
| 申请公布号 |
CN1603808A |
申请公布日期 |
2005.04.06 |
| 申请号 |
CN03134985.4 |
申请日期 |
2003.09.30 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
黄全德;黄文正 |
| 分类号 |
G01N27/12;G01N27/04 |
主分类号 |
G01N27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种氧化锌气体感测装置，其特征在于包括：一绝缘基底；形成在绝缘基底表面的两电极；一覆盖绝缘基底和两电极的纳米级氧化锌膜，上述纳米级氧化锌膜为柱状或管状氧化锌纳米纤维阵列。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
