立方MgZnO晶体薄膜光波导器件及制备工艺

摘要

一种MgZnO晶体薄膜光波导器件，由衬底、下包层、芯层和上包层构成，衬底采用玻璃或SiO₂/Si，芯层为立方Mg_xZn_1－xO(x＞0.5)晶体薄膜，折射率可随薄膜中Mg组分的改变实现连续可调，上、下包层可以是Mg组分比芯层高的Mg_yZn_1－yO(y＞0.5)薄膜，也可以是SiO₂薄膜，上包层也可以是空气。光波导器件是在衬底上低温物理外延生长立方Mg_xZn_1－xO芯层和包层，并通过湿法或干法刻蚀后得到的。本发明具有制备工艺简单，成本低，波导层光学模的损耗和双折射效应小，波导层折射率连续可调等优点。

主权项

1、一种立方MgZnO晶体薄膜光波导器件，其特征是：所述光波导器件由衬底、下包层、芯层和上包层构成，衬底采用玻璃或SiO2/Si，光波导的芯层为低温物理外延生长的立方MgxZn1-xO(x＞0.5)晶体薄膜，折射率可随薄膜中Mg组分的改变实现连续可调，上、下包层可以是Mg组分比芯层高的MgyZn1-yO(y＞0.5)薄膜，也可以是SiO2薄膜，上包层还可以是空气。