液体喷出头的制造方法、液体喷出头用基板及基板的加工方法

摘要

在形成有墨水喷出能量发生元件的Si基板上，从形成有墨水喷出能量发生元件的面的相反侧面、即背面进行各向异性蚀刻来形成墨水供给口9。在进行各向异性蚀刻时，使存在于Si基板背面的OSF(氧化诱起叠层缺陷)的密度为2×10⁴个/cm²以上，并且使该OSF的长度为2μm以上。

主权项

1.液体喷出头的制造方法，有以下工序：准备Si基板的工序；该Si基板具有作为元件形成面的第1面、和作为第1面的背面的第2面；对该Si基板加热、进行热处理的工序；在该Si基板的第2面上形成SiO2膜的工序；使该Si基板露出于上述SiO2膜的、形成蚀刻开始开口部的工序；在该Si基板的第1面上形成液体喷出能量发生元件的工序；该液体喷出能量发生元件产生用于喷出液体的能量；用Si的各向异性蚀刻形成液体供给口的工序；该工序是上述热处理工序后面的工序，该工序中，将上述SiO2膜作为掩膜，从上述蚀刻开始开口部用Si的各向异性蚀刻形成贯通Si基板并与第1面连通的液体供给口；其特征在于，在进行上述各向异性蚀刻之前，使上述Si基板的、存在于与SiO2的界面的氧化诱起叠层缺陷的密度为2×104个/cm2以上，还有下述工序，该工序是，在上述Si基板的、形成有液体喷出能量发生元件的面上形成喷出该液体的液体喷出口、和与该液体喷出口连通的液体流路的构成部件的工序。