反射镜装置

摘要

本发明提供一种反射镜装置，该反射镜装置具有反射入射光束的反射面。固定部件的表面上具有多个驱动电极。移动部件在一面上形成有上述反射面，可以沿着上述固定部件，退避到上述入射光束的光路外。驱动电路为了在上述驱动电极与上述移动部件之间产生静电力，可以对上述各驱动电极施加电压。控制电路对上述驱动电路提供控制信号，该控制信号用于改变作用在上述移动部件上的静电力。

主权项

1.一种反射镜装置，具有用于反射入射光束的反射面，其特征在于，包括：固定部件，其表面上具有多个驱动电极：移动部件，其在一面上形成有上述反射面，可以沿着所述固定部件，退避到所述入射光束的光路外；驱动电路，其为了在所述驱动电极与所述移动部件之间产生静电力，可以对所述各驱动电极施加电压；控制电路，其对所述驱动电路提供控制信号，该控制信号用于改变作用在所述移动部件上的静电力。