| 发明名称 |
Surface treating method for substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2406713(A) |
申请公布日期 |
2005.04.06 |
| 申请号 |
GB20050000273 |
申请日期 |
2003.07.09 |
| 申请人 |
YUJI * TAKAKUWA;* TSUKISHIMA KIKAI CO LTD |
发明人 |
* TSUKISHIMA KIKAI CO LTD;YUJI * TAKAKUWA |
| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/48;G11B5/39;G11B5/84;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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