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发明名称 Stage for a workpiece
摘要
申请公布号 GB2406533(A) 申请公布日期 2005.04.06
申请号 GB20030023079 申请日期 2003.10.02
申请人 * LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY LIMITED 发明人 PAUL GEORGE * HARRIS
分类号 B23Q1/01;B23Q1/58;B23Q1/62;B23Q11/00;H01L21/027;(IPC1-7):B23Q1/62;B23Q1/25;B23Q3/18 主分类号 B23Q1/01
代理机构 代理人
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