发明名称 A forming method of contact
摘要
申请公布号 KR100479600(B1) 申请公布日期 2005.04.06
申请号 KR20010037422 申请日期 2001.06.28
申请人 发明人
分类号 G03F7/40;H01L21/28;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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