| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR DECONTAMINATING A CLEAN-ROOM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1519758(A1) |
申请公布日期 |
2005.04.06 |
| 申请号 |
EP20030729776 |
申请日期 |
2003.06.25 |
| 申请人 |
SKAN AG |
发明人 |
MOIRANDAT, CLAUDE;SIGWARTH, VOLKER |
| 分类号 |
A61L2/20;A61L2/24;(IPC1-7):A61L2/20 |
主分类号 |
A61L2/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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