采用光电效应测试电气迹的装置和方法

摘要

用于诸如电路板上的电气迹的测试器，包括：诸如为生成紫外线射束的激光器的电磁射束源；真空室；电极电路，包括电极和相应的电子器件，后者包括用于测量迹与电极之间的光电子流的电流表；控制器；激光束光学器件；图像采集系统；和一对宽带紫外线灯。在测试中，具有迹的板放置在处于低压的真空室中，这时在板的每一侧有格栅电极靠近迹区域。电极电子器件有选择地在每个电极上保持一个已知的电位。迹的准确的位置利用一个图像采集系统来确定。

主权项

1.一种用于测试电气迹的测试器，能够非物理接触电气迹进行测试，它包括：一块板，该板具有一个第一平面侧和一个相反的第二平面侧，并具有在至少一个平面侧上形成的电气迹，其中，在所述电气迹包括一个形成在所述第一平面侧的上部和一个形成在所述第二平面侧的下部的情况下，所述电气迹的所述上部和下部彼此之间电气连接；电磁源，用于把电磁辐射的至少一个射束射到形成在至少一个平面侧上的所述电气迹上，以在其上产生光电效应；电极电路，包括一个置于所述第一平面侧附近的第一栅电极，和一个置于所述第二平面侧附近的第二栅电极，所述电极电路用于把所述电极保持在给定的电位，以便收集通过上述射束射在电气迹上产生的光电效应而释放的电子；和至少一个仪表，用于测量在所述电极电路和电气迹之间的光电流。