| 发明名称 | 用于去除感光树脂的稀释剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于去除感光树脂的稀释剂组合物，特别是含有a)丙二醇单烷基醚乙酸酯、b)乙酸烷基酯和c)乳酸烷基酯的用于去除感光树脂的稀释剂组合物。本发明的用于去除感光树脂的稀释剂组合物，不仅可以在短时间内有效地去除感光树脂，而且对人体安全性高，可适合多种工艺，可以简化液晶显示设备和半导体制造工艺，从而可以在经济方面提高生产收率。所述去除的感光树脂是在液晶显示设备中使用的玻璃基片的、和半导体制造中使用的硅片的边缘和背面部分附着的不必要的感光树脂。 | ||
| 申请公布号 | CN1603962A | 申请公布日期 | 2005.04.06 |
| 申请号 | CN200410080739.4 | 申请日期 | 2004.10.08 |
| 申请人 | 东进瑟弥侃株式会社 | 发明人 | 尹锡壹;全雨植;朴熙珍 |
| 分类号 | G03F7/42;G03F7/26 | 主分类号 | G03F7/42 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰 |
| 主权项 | 1、用于去除感光树脂的稀释剂组合物，其含有：a)丙二醇单烷基醚乙酸酯；b)乙酸烷基酯；和c)乳酸烷基酯。 | ||
| 地址 | 韩国仁川市 | ||