发明名称 使用改进的碳薄膜的场发射器件
摘要 一种场发射器件,该器件包括在衬底上的碳膜层,其中该碳膜层在1578~1620cm<SUP>-1</SUP>的范围内有第一紫外喇曼带,且该第一紫外喇曼带的最大高度的1/2处的全宽度(FWHM)为25~165cm<SUP>-1</SUP>。
申请公布号 CN1196156C 申请公布日期 2005.04.06
申请号 CN98808023.0 申请日期 1998.07.29
申请人 毫微-专卖股份有限公司 发明人 志丹·李·特尔
分类号 H01J1/02;C23C16/26 主分类号 H01J1/02
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 张政权
主权项 1.一种场发射器件,其特征在于,该器件包括阴极、该阴极包括阴极衬底、在阴极衬底上的导电层、以及在该阴极导电层上淀积的碳膜层,其中该碳膜层在1578~1620cm-1的范围内有第一紫外喇曼带,且该第一紫外喇曼带的最大高度的1/2处的全宽度即FWHM为25~165cm-1。
地址 美国得克萨斯