发明名称 | 使用改进的碳薄膜的场发射器件 | ||
摘要 | 一种场发射器件,该器件包括在衬底上的碳膜层,其中该碳膜层在1578~1620cm<SUP>-1</SUP>的范围内有第一紫外喇曼带,且该第一紫外喇曼带的最大高度的1/2处的全宽度(FWHM)为25~165cm<SUP>-1</SUP>。 | ||
申请公布号 | CN1196156C | 申请公布日期 | 2005.04.06 |
申请号 | CN98808023.0 | 申请日期 | 1998.07.29 |
申请人 | 毫微-专卖股份有限公司 | 发明人 | 志丹·李·特尔 |
分类号 | H01J1/02;C23C16/26 | 主分类号 | H01J1/02 |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张政权 |
主权项 | 1.一种场发射器件,其特征在于,该器件包括阴极、该阴极包括阴极衬底、在阴极衬底上的导电层、以及在该阴极导电层上淀积的碳膜层,其中该碳膜层在1578~1620cm-1的范围内有第一紫外喇曼带,且该第一紫外喇曼带的最大高度的1/2处的全宽度即FWHM为25~165cm-1。 | ||
地址 | 美国得克萨斯 |