一种细长管筒内表面溅射沉积涂层方法

摘要

一种细长管筒内表面溅射沉积涂层方法，它涉及细长管筒内表面的涂层工艺。本发明的工艺步骤是：将阴、阳两个电极上下对应地设在细长管筒内，然后将脉冲高压电源与设在细长管筒内的两个电极相连接，阴极与阳极的距离为5mm～20mm，溅射电压为10KV～50KV，往真空室内通入氩气、氙气或氪气或者同时通入反应气体，气压为0.1Pa～10Pa，溅射开始后，阴极和阳极同步由细长管筒内的一端向另一端移动，使细长管筒内表面获得溅射沉积涂层。本发明具有工艺简单，溅射沉积不受传统中心轴和管筒内壁二极溅射的空间限制；同时也不受传统磁控溅射的空间尺寸限制，另外也不需要外置离子源需要高昂的费用以及离子束聚焦所需的高电压，涂层沉积效果好的优点。

主权项

1、一种细长管筒内表面溅射沉积涂层方法，其特征在于其工艺步骤是：首先将细长管筒固定在真空室内的工件台上，将阴、阳两个电极上下对应地设在细长管筒内，然后将脉冲高压电源与设在细长管筒内的两个电极即阴极和阳极相连接，阴极为溅射靶，阴极与阳极的距离为5mm～20mm，溅射电压为10KV～50KV，往真空室内通入氩气、氙气或氪气或者同时通入反应气体，反应气体为氧气、氮气、乙炔或甲烷，气压为0.1Pa～10Pa，溅射开始后，阴极和阳极同步由细长管筒内的一端向另一端移动，使细长管筒内表面获得溅射沉积涂层。