液体输送装置及其制造方法

摘要

一种液体输送装置，包括：流动通道单元(13)，其包括开口(24)和容纳液体并与该开口连通的压力室(12)；部分地构成该压力室的振动板(26、52、62)；直接或间接叠放在该振动板上的压电材料层(27、42、54、65)，并且当向压电材料层施加电场时其变形从而振动该振动板，以通过该开口从压力室输送液体；以及向该压电材料层施加电场的电极图形(30、30A、30B；44、44A、44B；55、55A、55B；67、67A、67B)和驱动电路(100)，该液体输送装置的特征在于该驱动电路和电极图形直接或间接地设置在该振动板上。

主权项

1.一种液体输送装置，包括：流动通道单元(13)，其包括开口(24)和容纳液体并与开口连通的压力室(12)；部分地构成压力室的振动板(26、52、62)；直接或间接叠放在振动板上的压电材料层(27、42、54、65)，并且当向压电材料层施加电场时压电材料层变形，从而振动振动板，以通过开口从压力室输送液体；以及向压电材料层施加电场的电极图形(30、30A、30B；44、44A、44B；55、55A、55B；67、67A、67B)和驱动电路(100)，液体输送装置的特征在于，驱动电路和电极图形直接或间接地设置在振动板上。