发明名称 Exposure Mask and Exposure Method Using the Mask
摘要
申请公布号 KR100480811(B1) 申请公布日期 2005.04.06
申请号 KR20010010327 申请日期 2001.02.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址