发明名称 Crack resistant sol-gel wafer coatings for integrated optics
摘要 A method of preparing a multi-layer, crack resistant sol-gel glass derived coating on a substrate by removing the outer periphery of each layer before curing the layer and depositing any succeeding layer.
申请公布号 US6875467(B2) 申请公布日期 2005.04.05
申请号 US20020320313 申请日期 2002.12.15
申请人 OPTINETRICS, INC. 发明人 SIGOLI FERNANDO A.;KEMPEN LOTHAR U.;MENDOZA EDGAR A.
分类号 C03C1/00;(IPC1-7):B05D1/38;B05D3/12 主分类号 C03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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