用于产生晶片堆叠的方法

摘要

本发明系有关于一种产生晶片堆叠的方法，其系用于从晶圆2产生晶片1期间，晶片1在晶圆2上系彼此相分离开的，晶圆2被磨削得很薄，晶片1被堆叠以形成晶片堆叠，晶片1被检测，以查验其功能是否正常，该方法的特征在于：晶片1在一第一工作步骤被检验；黏着材料被施加在良好晶片1a上面；相反地，不良晶片1b并不施加黏着材料3；随后，晶圆2被组装并磨薄；及不良晶片1b被随后移除并以良好晶片1a替代之。