| 摘要 |
一种新型的自调式齿条传动机构装置，系包括一承载基座、一可伸缩元件(下文以弹簧代表)及一可拆卸齿条等三个元件所组成，首先利用承载基座底部所预留的定位销及螺丝孔，将本装置固定及组装于连续式多腔体溅镀设备之承载盘底部或侧边数个位置，并依不同腔体空间设计及传动需求，以平行或交错方式排列，其中齿条元件将配合腔体内部滚动轴上所组装齿轮组之齿面，利用两者齿面之间相互咬合传动，使承载盘能够依预设的轨道、方向及速度稳定地确实传动。利用此新型装置，当承载盘从上一个腔体传送至下一个腔体的转换瞬间，即使瞬间交接齿的齿形相位不同，但透过伸缩元件本身具可自由伸缩的功能，可解决先前所应用连续式齿条传动机构，在跨腔体转换瞬间，所发生脱齿、卡齿或跳齿等传动失效情况，并解决目前利用滚动摩擦传动，所产生的传动不确实及磨耗污染等问题，达到具有定位精准、传动效率高、稳定性高、低污染源及高腔体洁净度等传动特性，并具有可快速替换、缩短保养时间等优点，进而降低镀材生产成本。 |
