一种反应器

摘要

一依据控制程序运作之反应器，其包含有第一、第二阀门，控制单元用以防止第一、第二阀门同时被开启，以及反应室，第一、第二气体系分别经由被开启之第一、第二阀门导入反应室。控制程序系分别设定第一、第二阀门被关闭后经一时间间隔第二、第一阀门才得以被开启，且第一、第二气体之流量其中之一系为零。