振动感测器

摘要

本发明的目的在于：实现一种更薄型化，且具有绝佳耐冲击性的振动感测器。为达成上述目的，本案的振动感测器是可将固定电极、及与前述固定电极形成相对配置之振动电极3间静电容量的变化作为振动信号并加以输出的振动感测器，振动电极3是由：在同一个板构件上设置开口缝3a，并利用本身重量形成振动变位的侧振动膜部3b；和位于周边侧的固定部3c；及连结前述振动膜部与前述固定部的弹性支承部3d所构成。