| 摘要 |
从加热器(17)融解之矽融液(13)提拉矽单结晶棒(24)，在此提拉中按所定之时间间隔检测该矽单结晶棒(24)之直径变化，而将该检测资料回馈至上述矽单结晶棒之提拉速度及上述加热器(17)温度而控制上述矽单结晶棒之直径之矽单结晶之制造方法，系以：对于控制上述之矽单结晶棒(24)达到目标直径之上述矽单结晶棒(24)之提拉速度之控制方法，及控制上述矽单结晶棒达到目标直径之上述加热器(17)温度之控制方法，分别多阶段的运用改变PID常数之PID控制，可将矽单结晶棒之设定提拉速度设定为一定之V／G，根据此设定提拉速度精确地控制实际之提拉速度，从而抑制单结晶棒之直径变动。 |
