基板加热装置及其制造方法

摘要

〔课题〕于接合有管状构件之基板加热装置中，能使基板表面温度均热化。〔解决手段〕具有于上表面载置基板之加热面，而且，具备埋设有电阻发热体之板状陶瓷基体、及接合于陶瓷基体下表面，于内部连接到电阻发热体端子之供电棒的基板加热装置中，加热面被加工成最高，愈接近周边部则愈低的凸面形状。藉由上述加热面之形状，于部提高对基板的实质性传热效率，补偿因为对管状构件传热而使加热面部温度降低之影响，能使基板表面温度均热化。