| 摘要 |
以提供一种利用吹风，能够降低自重造成的基板歪斜、弯曲，此外，能够方便容易进行基板的安装、卸除，再加上，即使是不同尺寸的基板也能够应对的基板保持装置、基板处理装置、基板检查装置及基板保持方法为目的。基板保持装置1，是可将基板10保持在平板状载物台2上的基板保持装置1，于载物台2的上面，具备有：具载置面22的凸部21a、21b、21c；及，可使气体对基板10的下面进行喷吹的吹出孔25，凸部21a、21b、21c，是具有可吸附保持基板10的吸附孔23，并且，喷吹过基板10下面的气体，是被排气在水平方向。 |
