| 摘要 |
〔课题〕本发明之目的系于提供一种有机EL保护膜的制造方法及成膜装置，藉于80度以下之低温下有机材料不会受到电浆所造成的损伤，且于有机EL之保护膜上形成高分子聚合物、氮氧化矽及氮化矽，俾防止来自外部的水及氧的渗入者。〔解决方法〕本发明系一种有机EL发光元件之制造方法，藉于电浆产生器利用感应耦合电浆源，以于业经减压之真空容器内，在有机EL基板之阴极9上面先以电浆CVD形成高分子聚合物10，并于其上形成氮氧化矽及氮化矽11者；且在有机EL元件靠阴极9之上侧面上以ICP–CVD方法形成氧化防止用保护膜10及11。 |
