| 摘要 |
本发明提供一种单晶片式无机驻极体电容麦克风及其制造方法。该单晶片式无机驻极体电容麦克风包含一机壳及一封装于机壳中之驻极体电容麦克风晶片。该驻极体电容麦克风晶片一电极层、一自该第一电极层向下形成之驻极体振动膜、一自该驻极体振动膜向下形成且界定出一空间的气室层，及一自该气室层向下形成的背气室单元，该气室层包括以一蒸镀层及一自该蒸镀层向下形成的增厚层共同形成之一外环壁及多数被该外环壁环限的音孔块，该电极层与该蒸镀层藉该驻极体振动膜之一无机驻极体材料层构成一驻极体式电容，当一声能作用于该电极层后，该驻极体振动膜对应产生形变而使电容变化，同时该驻极体振动膜形变引起之气流可藉该外环壁与该等音孔块彼此间的间隙在该气室层之空间与机壳中流动。 |
