覆晶晶圆之背胶层形成方法

摘要

一种覆晶晶圆之背胶层形成方法，首先其系提供有一晶圆，该晶圆系具有一主动表面及一对应之背面，以该晶圆之背面朝上，并提供一热固性胶饼于该晶圆之背面，接着加热一压模模具并以该压模模具压触该热固性胶饼，使该热固性胶饼流动分布于该晶圆之背面，以形成具背胶层之覆晶晶圆。