发明名称 电热膜的制造方法
摘要 一种电热膜的制造方法。首先,提供一绝缘基材,并于绝缘基材上以溅镀的方式形成一第一导体层。接着,在第一导体层上以溅镀的方式形成一介电层。然后,在介电层上同样以溅镀的方式形成一第二导体层。最后,在第二导体层上以电浆喷涂或化学气相沉积的方式形成一保护层。其中,藉由电浆喷涂的方式可以加快电热膜之制造速度,并降低电热膜的制作成本,而藉由化学气相沉积的方式则可得到一较佳品质之电热膜。
申请公布号 TW200512808 申请公布日期 2005.04.01
申请号 TW092126937 申请日期 2003.09.30
申请人 和立联合科技股份有限公司 发明人 吴政道;孙士尧;罗世仑;林聪颖;吴金铭
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 台北县五股乡中兴路1段6号5楼