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发明名称
电热膜的制造方法
摘要
一种电热膜的制造方法。首先,提供一绝缘基材,并于绝缘基材上以溅镀的方式形成一第一导体层。接着,在第一导体层上以溅镀的方式形成一介电层。然后,在介电层上同样以溅镀的方式形成一第二导体层。最后,在第二导体层上以电浆喷涂或化学气相沉积的方式形成一保护层。其中,藉由电浆喷涂的方式可以加快电热膜之制造速度,并降低电热膜的制作成本,而藉由化学气相沉积的方式则可得到一较佳品质之电热膜。
申请公布号
TW200512808
申请公布日期
2005.04.01
申请号
TW092126937
申请日期
2003.09.30
申请人
和立联合科技股份有限公司
发明人
吴政道;孙士尧;罗世仑;林聪颖;吴金铭
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
詹铭文;萧锡清
主权项
地址
台北县五股乡中兴路1段6号5楼
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