可应用切割后晶粒点测系统之结构

摘要

本创作系提供一种可应用切割后晶粒点测系统之结构，其系于底部含左右底板及一探针卡固定夹具夹持一探针卡，其上方设一CCD(影像感知原件)摄影机，其具一显微镜头，并设一摄影机支架及一摄影机固定座，另侧端设一光学感测器并含一积分球，而由一可掀式感测器固定架，其下方设固定架底座，并据轴心及轴套及锁定螺将其固定成整组，藉此，得以感测晶粒之正确位置。

主权项

一种可应用切割后晶粒点测系统之结构,其特征在于:系于底部含左右底板及一探针卡固定夹具夹持一探针卡,其上方设一CCD(影像感知原件)摄影机,其具一显微镜头,并设一摄影机支架及一摄影机固定座,另侧端设一光学感测器并含一积分球,而由一可掀式感测器固定架,其下方设固定架底座,并据轴心及轴套及锁定螺将其固定成整组,藉此,得以感测晶粒之正确位置。图式简单说明:第一图系本创作之立体分解示意图。第二图系本创作之组合立体示意图。第三图系本创作之作动示意图。