氧化锌气体感测装置

摘要

本发明涉及一种氧化锌气体感测装置，其包括：一绝缘基底；形成于绝缘基底表面之两电极；一覆盖绝缘基底及两电极之奈米级氧化锌膜；上述奈米级氧化锌膜为具有高密度排列之柱状或管状氧化锌奈米纤维。本发明之奈米级氧化锌膜能增加气体于氧化锌晶粒间流通量，提高气体感测装置之灵敏度。