发明名称 | 薄膜电晶体阵列制作方法 | ||
摘要 | 本发明关于一种薄膜电晶体阵列制作方法,其系利用化学镀法的氧化还原特性,进行镀浴之金属离子与已利用强还原能力材料制作之欲镀区图形进行离子置换,完成该薄膜电晶体液晶显示器之金属导线布局,藉此克服部分金属导线不易蚀刻的困难,并达到自动对准的目的;其中该离子置换方式系运用氧化还原反应的能力来完成置换,以解决传统技术中必须利用微影蚀刻制程完成金属导线布局的限制。 | ||
申请公布号 | TW200512788 | 申请公布日期 | 2005.04.01 |
申请号 | TW092125528 | 申请日期 | 2003.09.16 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 李启圣;陈政忠;陈麒麟;许财源 |
分类号 | H01L21/00;H01L29/786 | 主分类号 | H01L21/00 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |