| 主权项 |
1.一种超精密微小差压测定装置,特征在于:其为由 内部具有空间部的装置本体1、配设于装置本体1 内部空间内并呈气密状将该内部空间隔成下部空 间7及上部空间8的受压板3、配设于下部空间7内并 支持固定受压板3于其上的电子式称量压力变换 器2以及液封前述受压板3的外周缘部,保持下部空 间7与上部空间8间气密的液封部R所构成;由电子式 称量压力变换器2,藉着受压板3测定上部空间8内 的压力P1与下部空间7内的压力P2间的微小差压的 构造。 2.如申请专利范围第1项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:呈相向状组合具备连通下部空间7 的压力导入孔7a的下部本体1a与具备连通上部空间 8的压力导入孔8a的下部本体1b,同时,于内部空间的 内壁面具备环状密封液体贮存槽9的构造。 3.如申请专利范围第1项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:以平板状圆盘3a及于其外周缘向下 突设的密封壁3b构成受压板3的构造。 4.如申请专利范围第1项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:将电子式称量压力变换器2构成 将称量値以电气信号的形式连续取出,将其传送至 电脑,变换成差压输出的构造。 5.如申请专利范围第4项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:电子式称量压力变换器2是由以 电子式称量器以及将来自电子式称量器的称量信 号变换成差压输出的电脑所构成的构造。 6.如申请专利范围第1项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:将电子式称量压力变换器2配置 成于其支座5上介设支持体4,支持并固定受压板3的 构造。 7.如申请专利范围第1项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:将电子式称量压力变换器2配置 成介设上端、下端或上下端呈尖头形的支持体4, 支持并固定受压板3的构造。 8.如申请专利范围第1项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:以形成在装置本体1内部空间的内 壁面的环状密封液体贮存槽9、充填于密封液体贮 存槽9内的密封液体6以及自上方将其下端面插入 密封液体6内部的设于受压板3外周缘的环状密封 壁3b构成液封部R的构造。 9.如申请专利范围第8项所记载之超精密微小差压 测定装置,其中:液封部R为在其接液部的全部或一 部份施以供维持匀整湿润性的表面处理的液封部 。 10.一种超精密差压测定装置,特征在于:其为由内 部具有空间部的装置本体1、配设于装置本体1内 部空间内并呈气密状将该内部空间隔成下部空间7 及上部空间8的受压板3、配设于下部空间7内并支 持固定受压板3于其上的电子式称量压力变换器 2以及配设于前述受压板3外周面与装置本体1的内 壁面间的间隙,保持下部空间7与上部空间8间的气 密的隔膜10构成,藉电子式称量压力变换器2,经 由受压板3测定上部空间8内的压力P1与下部空间7 内的压力P2间的差压的构造。 11.如申请专利范围第10项所记载之超精密差压测 定装置,其中:将装置本体1配置成呈相向状组合具 备连通下部空间7的压力导入孔7a的下部本体1a与 具备连通上部空间8的压力导入孔8a的下部本体1b, 同时,于受压板3外周面设置与其垂直插入隔膜10内 周缘的嵌合槽3d,又在与装置本体1内壁面的前述嵌 合槽3d同一高度位置设置与其垂直插入隔膜10外周 缘的嵌合槽1d的构造。 12.如申请专利范围第10项所记载之超精密差压测 定装置,其中:隔膜10为由树脂薄膜或金属制薄膜制 成的凸缘状隔膜,分别将该隔膜10的外周缘部气密 插入装置本体1的嵌合槽1d内,又将其内周缘部插入 受压板3的嵌合槽3d内的构造。 13.如申请专利范围第10项所记载之超精密差压测 定装置,其中:将电子式称量压力变换器2构成将 称量値以电气信号的形式连续取出,将其传送至电 脑,变换成差压输出的构造。 14.如申请专利范围第13项所记载之超精密差压测 定装置,其中:电子式称量压力变换器2是由以电 子式称量器以及将来自电子式称量器的称量信号 变换成差压输出的电脑构成的构造。 15.如申请专利范围第10项所记载之超精密差压测 定装置,其中:将电子式称量压力变换器2配置成 于其支座5上介设支持体4,支持并固定受压板3的构 造。 16.如申请专利范围第10项所记载之超精密差压测 定装置,其中:将电子式称量压力变换器2配置成 介设上端、下端或上下端呈尖头形的支持体4,支 持并固定受压板3的构造。 图式简单说明: 第1图是本发明第1实施形态的超精密微小差压测 定装置的剖视概要图。 第2图是本发明另一实施形态的超精密微小差压测 定装置的剖视概要图。 第3图是图示差压为零时的环状液封部R状态的剖 视图。 第4图是图示发生差压时的环状液封部R状态的剖 视图。 第5图是第2发明的通用超精密差压测定装置的剖 视概要图。 第6图是图示上下空间为隔膜所隔离状态的部份放 大剖视图。 |
