发明名称 PROCEDIMIENTO PARA LA GENERACION DE VAPOR Y APARATO QUE LO UTILIZA.
摘要 UN APARATO GENERADOR DE VAPOR QUE COMPRENDE: UNA BOQUILLA CONVERGENTE-DIVERGENTE 50 QUE TIENE UN ORIFICIO DE ENTRADA 5A Y UN ORIFICIO DE SALIDA 50B DE UN GAS PARA UN MEDIO DE VAPOR, COMPRENDIENDO LA BOQUILLA CONVERGENTE-DIVERGENTE 50 UNA PORCION DE LA BOQUILLA CONVERGENTE 51A, FORMADA DE MODO QUE SE AHUSE Y ESTRECHE DESDE EL ORIFICIO DE ENTRADA 50A HACIA EL ORIFICIO DE SALIDA 50B, Y UNA PORCION DE LA BOQUILLA DIVERGENTE 51C, FORMADA DE MODO QUE SE EXPANDA DESDE LA PORCION CONVERGENTE DE LA BOQUILLA 51A HACIA EL ORIFICIO DE SALIDA 50B; Y UN ORIFICIO DE ALIMENTACION 54 PARA UN LIQUIDO A EVAPORAR, ABRIENDOSE EL ORIFICIO DE ALIMENTACION 54 A LA PORCION DIVERGENTE DE LA BOQUILLA 51C DE LA BOQUILLA CONVERGENTE-DIVERGENTE 50. DE ESTE MODO SE PUEDE PRODUCIR FACILMENTE UN GAS UTILIZANDO UN NUMERO MENOR DE FACTORES DE CONTROL Y SE PUEDE AUMENTAR LA CANTIDAD DE GAS PRODUCIDO Y REDUCIR EL TIEMPO DE GENERACION DE VAPOR.
申请公布号 ES2227742(T3) 申请公布日期 2005.04.01
申请号 ES19980108929T 申请日期 1998.05.15
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KOMINO, MITSUAKI;UCHISAWA, OSAMU
分类号 B01F3/04;B01F5/04;B01F15/00;B01F15/06;C23C16/448;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01F3/04
代理机构 代理人
主权项
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