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Es ist ein Verfahren zur Messung der Overlay-Verschiebung offenbart. Es wird ein Bild von mindestens einem Referenzelement, das mindestens ein erstes Strukturelement in einer ersten Ebene und mindestens ein zweites Strukturelement in einer zweiten Ebene aufweist, aufgenommen. Ebenso wird ein Bild von einem Messelement aufgenommen. Der Verschiebungswert wird durch Vergleich zwischen dem Bild des Referenzelements mit dem Bild des Messelements ermittelt. Eine Ausgabe auf einem User-Interface zeigt an, ob ein vorgegebener Toleranzwert überschritten wird.
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