基于光刻的喷丝毛细孔加工方法

摘要

一种基于光刻的喷丝毛细孔加工方法属于化纤生产技术领域。本发明首先根据喷丝毛细孔的形状制作掩膜板，然后在导电基底上形成均匀的光刻胶层，接着进行紫外曝光，再进行电铸得到金属结构，最后去除喷丝毛细孔内光刻胶。本发明采用厚胶紫外光刻技术来解决喷丝板复杂孔、同板异孔的加工，本加工方法具有灵活性好、一致性好、精度高、成本低、适于大批量生产等特点，为制造喷丝毛细孔提供一种加工方法。

主权项

1、一种基于光刻的喷丝毛细孔加工方法，其特征在于，首先根据喷丝毛细孔的形状制作掩膜板，然后在导电基底上形成均匀的光刻胶层，接着进行紫外曝光，再进行电铸得到金属结构，最后去除喷丝毛细孔内光刻胶。