发明名称 Coating method
摘要
申请公布号 EP0677334(B2) 申请公布日期 2005.03.30
申请号 EP19950105671 申请日期 1995.04.13
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.;SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 KINOSE, KAZUO;YONEZAWA, TAKESHI;OKETANI, TAIMI;YAMAMOTO, TOMOO
分类号 B05D1/40;B05C11/08;B05D1/00;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/00 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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