| 发明名称 | 器件的制造方法和观察方法 | ||
| 摘要 | 在使用光或电子束的加工中，由被抗蚀剂吸收的光或电子的总量来决定反应性，因此不能进行微细加工。另一方面，虽然提出了热记录，但由于进行记录的光或电子束的光点大小不同，在加工尺寸的微细化上也存在限制。本发明提供通过使用碱溶液或者纯水，仅使在相变化光盘中使用的记录膜的结晶溶解或者剥离，而只残留非晶部分，使结晶和非晶图案变换成凹凸图案的方法。使高再现性制作微细图案成为可能。 | ||
| 申请公布号 | CN1601694A | 申请公布日期 | 2005.03.30 |
| 申请号 | CN200410074250.6 | 申请日期 | 2004.09.03 |
| 申请人 | 株式会社日立制作所 | 发明人 | 新谷俊通;安斋由美子;峰邑浩行;宫本治一 |
| 分类号 | H01L21/00;H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张敬强 |
| 主权项 | 1.一种器件的制造方法，其特征是，对具有结晶区域和非晶区域的器件，通过选择地除去所述结晶区域和所述非晶区域的任何一方，形成凹凸形状。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||