发明名称 Mesoporous silica films with mobile ion gettering and accelerated processing
摘要
申请公布号 EP1146014(B1) 申请公布日期 2005.03.30
申请号 EP20010303414 申请日期 2001.04.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MANDAL, ROBERT P.
分类号 H01L21/768;C01B37/02;C23C16/54;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):C01B37/02;H01L21/312 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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