| 发明名称 |
METHOD FOR USING HIGH DENSITY COMPRESSED LIQUEFIED GASES IN CLEANING APPLICATIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG109403(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.30 |
| 申请号 |
SG19980006389 |
申请日期 |
1998.03.21 |
| 申请人 |
ARAI KUNIO;SHUZURIFURESHER KAIHATSU KYODOKUMIAI |
发明人 |
KUNIO ARAI;HIROSHI INOMATA;RICHARD LEE SMITH |
| 分类号 |
B08B3/10;H01L21/30;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/10 |
主分类号 |
B08B3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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