在0相与180相区域周围形成边界区域以增强透明电场相移位光罩的方法

摘要

本发明揭示一种将第一边界区域加到界定为多边形的0相位图案的各末端，而将第二边界区域加到180相位图案的各末端的技术。此技术可改善线末端图案界定和改善制造能力和图案化工艺界限。此增加的边界区域平衡线末端两侧的光而造成更可预测的最终光阻图案。

主权项

1.一种设计相移位光罩的方法，该方法包括：识别相移位光罩的第一相位区域的边缘，该第一相位区域位于邻近关键多晶硅区域，而该所识别的边缘并非为邻近该关键多晶硅区域的该第一相位区域的边缘；扩张该所识别的边缘以沿着该第一相位区域的该边缘界定窄线；以及沿着该第一相位区域的该边缘在该窄线上形成相位区域边界。