匹配电路和等离子加工装置

摘要

本发明提供一种匹配电路，该匹配电路能够实现很宽的匹配范围并且相对于负荷状态的变化稳定。第一可变电抗元件(32)的一端连接到匹配电路(30)的输入端子(31)上。第一可变电抗元件(32)的另一端连接到串联的第一固定电抗元件(33a)和第二固定电抗元件(33b)之间的点上。第一固定电抗元件(33a)接地，并且第二固定电抗元件(33b)连接到第二可变电抗元件(36)的一端上并且连接到带状线(37)的一端上。第二可变电抗元件(36)的另一端接地，并且带状线(37)的另一端连接到输出端子(38)上。

主权项

1.一种匹配电路，包括：输入端子；输出端子；第一固定电抗元件；第二固定电抗元件，第二固定电抗元件串联连接到其另一端接地的第一固定电抗元件上；第一可变电抗元件，第一可变电抗元件的一端连接到输入端子上并且第一可变电抗元件的另一端连接到第一固定电抗元件和第二固定电抗元件之间的点上；第二可变电抗元件，第二可变电抗元件的一端连接到第二固定电抗元件上并且第二可变电抗元件的另一端接地；及带状线，带状线的一端连接到第二可变电抗元件和第二固定电抗元件上并且带状线的另一端连接到输出端子上，其中假定施加到输入端子上的高频电的波长是λ(m)，则从输出端子到连接到输出端子上的天线的长度D1(m)和带状线的长度D2(m)的总和D1+D2满足下面的表达式：λ/32+λ/2×(n-1)≤D1+D2≤-λ/32+λ/2×nn＝1，2，3，...。