| 发明名称 | 干燥薄膜光阻剂 | ||
| 摘要 | 一种干燥薄膜光阻剂包括官能性聚合物。该官能性聚合物具有α，β－不饱和基团和当暴露于光性辐射时产生游离基的基团。 | ||
| 申请公布号 | CN1601380A | 申请公布日期 | 2005.03.30 |
| 申请号 | CN200410029534.3 | 申请日期 | 2004.03.18 |
| 申请人 | 美商长兴科技公司 | 发明人 | 罗伯·K·巴尔;艾加多·安苏尔;丹尼尔·E·伦迪 |
| 分类号 | G03F7/00 | 主分类号 | G03F7/00 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟;戈泊 |
| 主权项 | 1.一种包含聚合物的干燥薄膜光阻剂，所述聚合物具有α，β-不饱和性和当所述干燥薄膜光阻剂暴露于光性辐射时能产生游离基的基团，所述聚合物具有至少1000道尔顿的平均分子量。 | ||
| 地址 | 美国弗吉尼亚 | ||