加速器

摘要

一种加速器，包括蚀刻硅片形成固定部分(400)，活动部分(300)，和两者间弹性联结器(120)，固定和活动部分一般设置在硅片平面内，活动部分块集中在弹性联结器一侧。硅结构固定和活动部分中一个包括第一电极。固定和活动部分中另一部分包括方向平行于加速度轴线的第二电极，作为第三电极电连接的导电层，其与第二电极共平面并机械连接。第二和第三电极与第一电极电容性相对设置，当活动部分沿加速度轴线方向相对于固定部分移动时，第一电极和第三电极之间电容增加，当活动部分沿相反方向移动时，电容减少。弹性联结器保持第一和第三电极跨过电容间隙彼此电容性相对，同时使第一电极相对第二和第三电极运动，响应垂直于硅片平面的沿加速度轴线方向的加速度，并且当该加速度停止时，使第一电极弹性回复到平衡位置。当电极处于平衡位置时，第二电极与所述第一电极的大部分表面区域相对。通过获得沿轴线方向加速度测量值测定第一和第三电极间的电容。

主权项

1、一种加速器，包括单晶硅片蚀刻形成固定部分，活动部分，和两者之间的弹性联结器，所述固定部分和活动部分一般设置在硅片平面内，活动部分块集中在所述弹性联结器的一侧；所述硅结构的固定和活动部分中的一个部分包括方向平行于加速度轴线的第一电极，所述固定和活动部分中的另一个部分包括方向平行于所述加速度轴线的第二电极，所述固定和活动部分中的另一个部分具有金属层，该金属层与所述第二电极机械连接，并电连接作为该第二电极共平面的第三电极，所述第二和第三电极沿平行于所述加速度轴线的方向堆放在一起，并与所述第一电极电容性相对设置；设计弹性联结器保持所述第一和第三电极跨过电容间隙彼此电容性相对，同时使所述第一电极相对所述第二和第三电极运动，响应沿垂直于硅片平面的加速度轴线方向的加速度，并且当该加速度停止时，使所述第一电极弹性回复到相对所述第二和第三电极的平衡位置，当电极处于平衡位置时，所述第二电极与所述第一电极的大部分表面区域相对，电容间隙的方向平行于所述加速度轴线，当所述活动部分沿所述加速度轴线方向从所述平衡位置移开时，所述第一电极与第三电极之间的电容增加，而当所述活动部分沿远离所述平衡位置的相反方向移动时，所述电容减小；以及设计电子器件和/或软件，用来将所述第一和第三电极之间的电容测量值转换为沿所述轴线方向的加速度的测量值。