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发明名称
FORMATION OF INTERFACIAL OXIDE LAYER AT THE SI3N4/SI INTERFACE BY H2/O2 ANNEALING
摘要
申请公布号
SG109459(A1)
申请公布日期
2005.03.30
申请号
SG20010004577
申请日期
2001.07.26
申请人
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, LTD
发明人
LIN WENHE;ZHONG DONG;KIN LEONG PEY;SIMON CHOOI;MEI SHENG ZHOU;TING CHEONG ANG
分类号
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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