| 发明名称 | 用于光电装置的烘箱 | ||
| 摘要 | 一种烘箱，用于由半导体材料制成的光电装置，其特征在于：烘箱内的半导体材料的输送是通过一系列的、由一种陶瓷材料制成的辊子实现的，所述辊子绕其自身的轴线旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN1602554A | 申请公布日期 | 2005.03.30 |
| 申请号 | CN02824624.1 | 申请日期 | 2002.11.27 |
| 申请人 | 埃尼里塞奇公司 | 发明人 | 马利亚诺·扎尔科内;阿梅里科·罗马尼奥利 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/00;F27B9/24 | 主分类号 | H01L31/18 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 范莉 |
| 主权项 | 1.一种用于由半导体材料制成的光电装置的烘箱，其特征在于：烘箱内的半导体材料的输送是通过一系列的、由一种陶瓷材料制成的辊子实现的，所述辊子绕其自身的轴线旋转。 | ||
| 地址 | 意大利米兰 | ||