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发明名称 METHOD FOR ULTRA LOW-K DIELECTRIC DEPOSITION
摘要
申请公布号 SG109542(A1) 申请公布日期 2005.03.30
申请号 SG20040004351 申请日期 2004.07.05
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 CHUNG-CHI,KO;YUNG-CHENG, LU;TIEN-I, BAO;HUI-LIN, CHANG;SYUN-MING, JANG
分类号 H01L21/312;H01L21/768 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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