一种多模干涉热光开关

摘要

本发明属光学通信技术领域，具体为一种多模干涉热光开关。该开关由一个单模输入波导、一个多模干涉耦合波导、一个关状态单模输出波导、一个开状态单模输出波导、顶层热电极和电源依次组合构成。本发明中，当热电极不加电压时，光通过输入波导，在关状态的输出波导处形成输入场映象，并由该输出波导输出。当施加电压并逐渐增大时，热电极产生的热量使电极覆盖区域的波导升温，导致折射率下降，从而减少多模干涉区的有效宽度，改变出射面映象的位置；当施加电压达到某值时，输入场的映象位于开状态的输出波导处并输出，从而实现关、开转换。本发明结构紧凑、制作容差大、消光比高、偏振无敏感性好、功耗低、串扰低。本发明器件还可作光衰减器使用。

主权项

1、一种多模干涉热光开关，其特征在于由如下部分依次组合构成：一个单模输入波导(1)，一个多模干涉耦合波导(2)，一个“关”状态单模输出波导(3)，一个“开”状态单模输出波导(4)，顶层热电极(5)和电源(6)；其横截面从上到下依次为顶层热电极(5)、上包层(7)、波导层(8)、下包层(9)和硅片衬底(10)。