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发明名称 Systems and methods for liquid immersion development
摘要
申请公布号 EP1304600(A3) 申请公布日期 2005.03.30
申请号 EP20020023408 申请日期 2002.10.18
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 WANG, FONG-JEN J.;DOMOTO, GERALD A.;CARUTHERS, EDWARD B., JR.;VITURRO, ENRIQUE R.
分类号 G03G21/14;G03G15/01;G03G15/10;(IPC1-7):G03G15/10 主分类号 G03G21/14
代理机构 代理人
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