发明名称 | 制作一半导体发光元件的方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种制作一半导体发光元件的方法。该方法包含于一基板表面形成至少一半导体叠层结构,此半导体叠层结构包含有一第一导电型式半导体层、一发光层以及一第二导电型式半导体层依序设于基板表面;然后于半导体叠层结构表面形成一含铟元素的电极接触层,并且进行一微波处理,以活化半导体叠层结构,最后再于电极接触层表面形成一透明导电层。 | ||
申请公布号 | CN1601775A | 申请公布日期 | 2005.03.30 |
申请号 | CN200410085834.3 | 申请日期 | 2004.10.20 |
申请人 | 国联光电科技股份有限公司 | 发明人 | 蔡宗良;张智松;陈泽澎 |
分类号 | H01L33/00;H01S5/00 | 主分类号 | H01L33/00 |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 曾旻辉;胡杰 |
主权项 | 1、一种制作一半导体发光元件的方法,该方法包含有下列步骤:(1)提供一基板;(2)于所述的基板表面形成至少一半导体叠层结构,且该半导体叠层结构包含有一第一导电型式半导体层、一发光层以及一第二导电型式半导体层依序设于该基板表面;(3)于所述的半导体叠层结构表面形成一含铟元素的电极接触层;(4)进行一微波处理,以活化所述的半导体叠层结构;以及(5)于所述的电极接触层表面形成一透明导电层。 | ||
地址 | 台湾省新竹市新竹科学园区力行路十号九楼 |