一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置

摘要

一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导—同轴转换(1)、同轴腔(2)、带重入柱的TM₀₁₀谐振腔(3)连接构成；同轴腔(2)的内导体(21)深入到TM₀₁₀谐振腔(3)中，并通过高压引入结构(22)引入等离子体激发电压。本发明可以使等离子体得到有效控制，从而可以实现等离子体化学合成的产业化。

主权项

1、一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导一同轴转换(1)、同轴腔(2)、带重入柱的TM010 谐振腔(3)连接构成；同轴腔(2)的内导体(21)深入到TM010谐振腔(3)中，并通过高压引入结构(22)引入等离子体激发电压；所述高压引入结构(22)为电感与电容复合结构，由导电外壳(224)、两个电容片(221)(223)及电感线圈(222)构成，同轴线内导体(21)的一端首先与一个电容片(221)相连，该电容片(221)与同轴线的外导体构成电容I，导电外壳(224)与电容片(223)之间构成电容II，电容片(221)与电容片(223)通过电感线圈(222)相连，由于同轴线的外导体与高压引入结构的导电外壳(224)相接，从而在电路上形成电容I与电容II串联，再与电感并联的结构。